日本Rapidus晶圆厂将迎来首台ASML EUV光刻机,预计2024年底运抵
【网界】据《日本经济新闻》报道,日本半导体制造企业Rapidus将迎来重要时刻,其购入的首台ASML EUV光刻机预计于2024年底抵达北海道新千岁机场。此举标志着日本将首次拥有EUV光刻设备,对日本半导体产业发展具有里程碑意义。 Rapidus高管透露,此次购入的EUV光刻机为0.33 NA型号,虽非最新款的0.55 NA(High NA)型号,但仍是当前先进技术的代表。为确保这台高精度设备安全运输,新千岁机场特地对相关路面进行了重新铺设,以减少振动对设备的影响。 ASML已在千岁市设立客户... [2024-12-20]